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IMT携手北大微电子学研究院促进MEMS技术发展,清

时间:2019-11-05 21:08来源:信息科学
日前,北京大学信息科学技术学院微纳电子学研究院研究生程晓亮、毛逸飞和张立获得由全球领先的微机电系统技术和晶圆制造服务提供商InnovativeMicroTechnology公司所提供的2016年度奖学

日前,北京大学信息科学技术学院微纳电子学研究院研究生程晓亮、毛逸飞和张立获得由全球领先的微机电系统技术和晶圆制造服务提供商Innovative Micro Technology公司所提供的2016年度奖学金,以鼓励他们在使用碳氟等离子体无掩膜皱纹结构的可控制造、聚焦离子束应力引入技术、硅-玻璃键合结构工艺质量监控和工艺相关参数提取方面的研究成果和技术突破。

2015年10月28日,美国最大的纯MEMS技术和制造服务提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)日前自豪地宣布:公司已与北京大学微电子学研究院签署战略合作伙伴协议。该协议着眼于为两个组织在技术开发和MEMS器件制造等领域内构建合作框架,并以此促进北京大学微电子学研究院的在校本科生和研究生潜心于研究MEMS技术。 微机电系统器件用于为当今的电子产品创造对接“真实世界”的各种传感器件。这些传感器件通常可见于我们日常生活中所使用的各种电子产品之中,如智能手机、平板电脑、汽车以及构成“物联网”的其他连网设备。多年以来,IMT和北京大学微电子学研究院均开展了大量涉及MEMS的研究和开发活动,且各自都对该行业的技术进步做出了巨大贡献。 作为该协议的一部分,IMT将在MEMS研究和开发这一特定领域为北京大学设立奖学金,尤其关注MEMS制造工艺技术的开发。IMT将每年向三名在MEMS技术领域内从事特定研究的学生个人或团队提供奖学金。其目的在于鼓励北京大学微电子学研究院的学生开展创新,并使业界广泛认识到MEMS制造工艺技术给全球通信、人类健康、农业优化和可再生能源等领域做出的贡献。两个组织拥有了一个共同的目标,即通过基于MEMS的传感技术来实现“物联网”的快速发展。 “数十年以来,北京大学微电子学研究院专注于MEMS技术的开发,已取得许多技术进步和突破,”IMT首席执行官CraigEnsley先生表示,“我们相信此次IMT有机会与北京大学微电子学研究院教师和学生合作,定能使两个组织双双大受裨益,还会提高MEMS制造工艺技术在整个电子行业的认知度。我们期待通过合作改进MEMS器件的功能性和可制造性,以实现传感技术在业内的更广泛应用。” “通过与IMT这样全球领先的MEMS制造服务公司合作,尤其是通过北京大学微电子学研究院和IMT联合发起的MEMS制造工艺技术奖学金计划,”北京大学微电子学研究院教授李志宏先生表示,“我们让同学们看到了MEMS工艺技术开发在制造MEMS器件方面的行业和商业价值,并通过向他们展示毕业后可在独立MEMS器件制造公司或开放型代工厂担任工艺技术开发工程师这样一条高价值职业道路,来鼓励他们努力钻研MEMS工艺技术开发。此外,由于北京大学微电子学研究院一直在进行许多MEMS研究项目,并已联合众多商业公司开发了许多MEMS器件,所以北京大学微电子学研究院与IMT之间的合作,可极大地缩短或加速从MEMS研发原型设计向商业化大规模生产的过渡。” 今年九月,在北京大学微电子学研究院教职员对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后,IMT颁发了2015年度的三项奖学金。获得奖学金的分别是刘鹏和张洪泽两位博士生,以及刘姚萍和张灵倩组成的团队。这些学生在MEMS工艺技术开发这一领域内做出了突出的贡献,他们在MEMS工艺技术方面取得了突破,在MEMS器件制造和相应的应用中均具有巨大的潜在影响和前景。这是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。 Innovative Micro Technology公司简介 IMT(Innovative Micro Technology)公司是全球领先的纯MEMS制造商和代工合作伙伴,拥有多样化的客户群和产品类型。IMT成立于2000年,专门生产微机电系统器件。IMT的基础设施面积为130,000平方英尺,其中包含一个30,000平方英尺的100级超净室/制造厂,是世界上最大的、装备最完善的独立MEMS制造厂之一。该公司致力于大规模制造,可提供从设计到生产的完整制造服务。IMT目前在各种应用领域拥有50多个客户,这些应用领域包括继电器和继电器阵列、药物研发、药物投送、生物医学植入片和细胞筛选器、微流体、显示器、惯性导航、光通信、印刷、各种传感器、夜视仪、红外线发射器、电话/DSL转换、射频器件、电源管理等。IMT的首要目标是与其他公司合作开发和制造基于MEMS技术的产品。 北京大学微电子学研究院简介 北京大学微电子学研究院(IME/PekingUniv.)是中国顶级的微电子/纳米电子科技研究和教育基地。其特点是拥有一套完整的教学、培训和研究体系,并配有各种先进设施。该研究院的雄厚实力反映在其水平优异、数量充足的教职员工队伍上:22位教授、4位教授级高级工程师、22位副教授、9位高级工程师和12位助理教授。他们中有很多人是公认的微电子学专家,包括举世闻名的科学家王阳元教授,他还是中国科学院院士。该院还有三间配有先进设备的国家级或部级重点实验室,这些先进设备与世界上其他著名大学的设备不相上下。该院每年招收本科生约70人,硕士生和博士生40余人。 北京大学微电子学研究院微机电系统中心成立于1996年,是微米/纳米加工技术国家级重点实验室的一部分。其包含对硅基微纳加工技术、微纳传感器与执行器和微纳系统集成技术的基础研究和应用研究。近五年来,在顶级会议和期刊(如IEEEMEMS、Transducers、MicroTAS、Small、LabChip、JMEMS和JMM)上发表了50余篇高质量研究论文。该中心还致力于促进其研究成果的产业化。例如,FirstMEMS有限公司通过应用该中心的MEMS技术批量生产了压力传感器,由此为中国大陆带来了创新。

  专业介绍

2015年,微纳电子学研究院与IMT公司签署战略合作协议,内容之一就是设立专项奖学金,每年颁发给三名学生或团队,为MEMS器件制造工艺技术及其相关领域的人才培养和基础研究提供支持。作为国内首次专门面向MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金,IMT-北京大学微纳电子学研究院奖学金旨在激发学生应对通信、人类健康、农业优化、可再生能源等领域中迅速发展的技术、应用和创新。近两年,已有5名学生和1个学生团队获此殊荣。

标签: 传感器 压力传感器 MEMS 微电子学

  微纳电子学专业本科生的培养目标是:使学生系统掌握集成电路设计与制造技术专业的基本理论、专业知识和基本技能,并掌握一定的人文社会科学、经济管理、环境工程等方面的基本理论,具有在专业领域跟踪新理论、新知识、新技术的能力,成为能适应信息产业发展和社会主义市场经济需要的复合型、应用型高级设计、制造、开发及管理型人才。

相关链接:IMT成立于2000年,专业生产MEMS器件,研发和制造基于MEMS技术的新型产品,拥有占地130000平方英尺的生产厂,其中包括一间30000平方英尺的百级超净室,是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产以及从设计到生产过程的制造服务,所服务的企业分布在医疗诊断、生物医学、微流体、显示屏、光学通信、射频器件、传感器等及其相关应用领域。

  对本科学生已开设和计划开设的课程有:

  专业核心课8门:固体物理学、半导体物理学、半导体器件电子学、微电子工艺技术、数字集成电路分析与设计、模拟集成电路分析与设计、微纳电子实验A、微纳电子实验B

  专业限选课6门:集成电路设计与实践、集成电路课程设计、超大规模集成电路CAD、MEMS与微系统、量子信息学引论、纳电子学导论

  专业任选课3门:专业英语、集成传感器、微纳电子材料器件分析技术

  新生研研讨课2门:微小器件与系统及微型化方法、晶体管的发明和信息时代的诞生

  全校性选修课1门:微电子学概论

  平台课程1门:微电子器件与电路

  微纳电子系包括四个研发、教学基地:微纳器件与系统研究室、固体器件与集成技术研究室、集成电路与系统设计研究室、CAD技术研究室等。

  学生活动及奖助学金情况

  微纳电子系设有学生科协,积极开展课外科技活动,组织广大同学踊跃参加各类科技竞赛。多次在清华大学www.89677.com,“挑战杯”学生课外科技作品竞赛中取得优异成绩;多次参加全国大学生电子设计竞赛、英特尔杯大学生电子设计竞赛、全国计算机仿真大赛等科技竞赛。在这些课外科技活动中,广大同学开阔了眼界、锻炼了能力。微纳电子系积极组织本科生同学进入各个实验室开展科研工作,在清华大学大学生研究训练(SRT)计划的支持下,本科生同学获得了良好的科研训练。

  品学兼优的学生可以获得学校设立的各种奖学金,特别突出的学生可以争取到清华大学特等奖学金的殊荣;而在某一方面做出突出成绩的学生可以获得社会工作奖、科技学术奖、体育优胜奖、文艺优秀奖等单项奖学金。除了奖学金以外,微纳电子系能为家庭经济困难生提供助学金、困难补助、勤工助学、国家助学贷款等多方位的资助方式。

  师兄师姐感言

  微电子学是现代信息学科和产业的基础,没有微电子学的进步就没有信息科学的蓬勃发展、信息社会的飞速前进、国民经济的昌盛繁荣。从事微电子方面的学习,要注意努力打好基础,培养实践能力,总结起来有四种感受:

  1、忙碌:电路集成度越做越高,新型微器件的不断提出,都离不开对相关领域知识的掌握和对热点问题的追踪,所以不断学习是生活的主要部分;

  2、前沿:沟道尺寸的不断缩小,MEMS的进一步应用,芯片结构的复杂化,要求清华的微电子人能够紧跟时代的发展步伐,做出原创性工作或者与国际同步的工作;

  3、有应用背景:系内的学习和研究基本都有一定的应用背景,因此当目前国内没有合适教材时,系里会采用国外的原版教材或者自编教材,以保证内容的新颖和实用;

  4、培养动手能力:通过实验课、SRT项目、RA等各种方式参加系里的科研工作,提高动手能力,无疑对于一名工科学生是很重要的。

  联系方式

  电话:010-62787301

  信箱:wdzs@mail.tsinghua.edu.cn

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